是德科技推出全新第三代參數(shù)測試解決方案,,幫助客戶縮短上市時間并降低測試成本
2018-01-24
新聞要點(diǎn):
·是德科技P9000已是業(yè)界最快,、功能最全的半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案,,用于高級邏輯和記憶集成電路的研發(fā)和批量生產(chǎn)
·第三代P9000憑借全新的參數(shù)測試單元模塊,可進(jìn)一步提升測試速度,,同時克服電容測量所面臨的挑戰(zhàn)
·這款全新的測試單元模塊可測量尖端半導(dǎo)體電子過程中的泄漏電容,,并提供 100 引腳并行電容測量結(jié)果
2018 年 1 月 23 日,北京 – 是德科技(紐約證券交易所代碼:KEYS)近日宣布推出其第三代P9000 系列大規(guī)模并行參數(shù)測試系統(tǒng),。該系統(tǒng)不僅可加速新技術(shù)的快速發(fā)展,,更降低了高級半導(dǎo)體邏輯和記憶集成電路開發(fā)和制造過程中的測試成本。例如,,隨著新型器件結(jié)構(gòu)和性能的提高,,每個先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)(小于或等于 20 納米)的必要參數(shù)測試數(shù)據(jù)量將急劇增加。
P9000 推出后,,可利用專門的引腳測試單元模塊,,為硅晶圓上的多個器件提供 100 引腳并行測量值。該模塊具備參數(shù)(例如,,電壓,、電流、電容,、脈沖和頻率)測試所需的全部典型測試功能,。此外,直接電荷測量(DCM)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)快速的 100 引腳并行電容測試,。
第二代 P9000 搭載是德科技開發(fā)的快速Vt測量技術(shù),。快速Vt測量技術(shù)提供閾值電壓(Vt)的單一測量值,,其速度比任何常規(guī)測試方法要快四倍以上,。除了 100 引腳并行測量外,DCM 和快速Vt 測量技術(shù)可提供更快的單一參數(shù)測量值,,從而進(jìn)一步提升測試速度,。因此,先進(jìn)的芯片代工廠和存儲器公司現(xiàn)已采用 P9000 平臺(第一代和第二代)作為下一代參數(shù)測試解決方案,。
隨著第三代 P9000 的推出,,其采用全新引腳參數(shù)測試模塊(是德科技 P9015A),,測試器可進(jìn)一步縮短電容測量的時間,從而解決了因多層互連和新器件結(jié)構(gòu)導(dǎo)致電容測試量日益增加的難題,。該全新模塊利用其增強(qiáng)型 DCM技術(shù)來測量漏電電容,,相比傳統(tǒng) LCR 測試器,其可在各類電容間建立良好的數(shù)據(jù)相關(guān)性,,使單一電容測試速度提升兩倍以上,。另外,憑借 100 引腳并行電容測量能力,,客戶可進(jìn)一步提高吞吐量,。
是德科技晶圓測試解決方案副總裁兼總經(jīng)理 Masaki Yamamoto表示:“許多半導(dǎo)體公司已將數(shù)以百計(jì)的 P9000 用于研發(fā)和生產(chǎn),例如,,先進(jìn)的邏輯芯片和內(nèi)存制造,。” “是德科技將繼續(xù)改進(jìn) P9000,,進(jìn)一步降低客戶的上市時間,,同時降低測試成本。 第三代 P9000 采用 100 引腳“真”參數(shù)引腳模塊,,甚至具備傳統(tǒng)測試系統(tǒng)中使用的測試結(jié)構(gòu),,為客戶帶來了疾速的并行參數(shù)測試解決方案。
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