2017年5月23日，科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱集成電路專項）成果發(fā)布會。

參加發(fā)布會的有科技部重大專項辦公室主任陳傳宏,、北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國慶,、集成電路專項管理辦公室主任姜廣智、集成電路專項技術(shù)總師/中科院微電子所所長葉甜春以及集成電路專項總體組專家朱煜,、張國銘,、于燮康、石瑛,、張衛(wèi),。

發(fā)布會由科技部重大專項辦公室主任陳傳宏主持，專項牽頭實施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭,、上海市科委總工程師傅國慶和專項技術(shù)總師葉甜春介紹了集成電路專項實施取得的攻關(guān)成果及應(yīng)用情況,。

此次發(fā)布的專項成果包括9年來已研發(fā)成功并進入海內(nèi)外市場的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品，面向全球開展服務(wù)的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果,。

集成電路芯片是信息時代的核心基石,，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會,、經(jīng)濟和國防的安全保障與綜合競爭力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),。

長期以來，我國集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進制造裝備,、材料和工藝引進等方面的種種限制,，高端芯片主要依賴進口。我國集成電路產(chǎn)品連續(xù)多年進口額超過2000億美元,，超過石油成為最大宗進口產(chǎn)品,。

科技部重大專項辦公室主任陳傳宏介紹,，為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展,，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實施集成電路專項，由北京市和上海市人民政府牽頭組織實施,，主攻裝備,、工藝和材料的自主創(chuàng)新。共有200多家企事業(yè)單位,、2萬多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān),，集中在北京、上海,、江蘇,、沈陽、深圳和武漢等6個產(chǎn)業(yè)聚集區(qū),，經(jīng)過9年攻關(guān),，從無到有填補空白,，由弱漸強走向世界，國家科技重大專項成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系,，引領(lǐng)和支撐我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起,，輻射帶動我國LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

北京市經(jīng)信委主任張伯旭,，集成電路專項以培育真正可用產(chǎn)品,、做大做強企業(yè)為目標(biāo)，進行了組織實施的機制體制創(chuàng)新,。首先,，“下游考核上游，整機考核部件,，應(yīng)用考核技術(shù),，市場考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實用性,，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗的高端產(chǎn)品,。高端裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭,，表明國家科技重大專項打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實現(xiàn),。在近幾年我國集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用,。其次,，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈,、金融鏈有效協(xié)同的新模式,，專項與重點區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進支持,，有效推動了專項成果產(chǎn)業(yè)化,，扶植企業(yè)做大做強，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模,，提高整體產(chǎn)業(yè)實力,。在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進入世界前列,，一批骨干企業(yè)開始積極參與國際競爭,，專項支持的企業(yè)在資本市場備受青睞。

集成電路專項技術(shù)總師/中科院微電子所所長葉甜春,，培育自主知識產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項組織實施的重中之重,，集成電路專項已申請了2.3萬余項國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利，所形成的知識產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實力和地位發(fā)生了巨大變化，掌握了發(fā)展的主動權(quán),，發(fā)展模式也從“引進消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式,。在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進入世界前列,；一批骨干企業(yè)進入國際市場,；一批企業(yè)成功上市，備受青睞,。與此同時,，國內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項成果研制出成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升,，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實現(xiàn)了國際領(lǐng)先,。

上海市科委總工程師傅國慶，面向2020年,，專項將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān),，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用,，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群,，為“創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略”的實施提供科技支撐。葉甜春介紹說,，專項已經(jīng)在14納米裝備,、工藝、封裝,、材料等方面進行了系統(tǒng)部署,，預(yù)計到2018年將全面進入產(chǎn)業(yè)化?！笆濉边€將重點支持7-5納米工藝和三維存儲器等國際先進技術(shù)的研發(fā),，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展,，形成特色優(yōu)勢,。

自2008年實施以來，集成電路專項積極探索,，推動構(gòu)建了市場經(jīng)濟下,，由政府引導(dǎo),，市場引導(dǎo),，企業(yè)主體、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的新型舉國創(chuàng)新體系,。集成電路專項注重通過市場機制來打通科技與經(jīng)濟的連接通道,，推動建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大力協(xié)作，科技 ,、產(chǎn)業(yè),、金融與區(qū)域經(jīng)濟有效協(xié)同的新模式。

過去九年中,，02專項對中國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)整體布局,，既有全面填空，又有重點突破,。在集成電路制造創(chuàng)新體系的引領(lǐng)帶動下,，專項成績斐然，碩果累累：刻蝕機等關(guān)鍵裝備實現(xiàn)從無到有,，批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上,；成套工藝水平提升五代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實現(xiàn)量產(chǎn),，22-14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實現(xiàn)量產(chǎn),，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端,，實現(xiàn)與世界同步；拋光機和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料通過大生產(chǎn)線考核進入批量銷售,；自主知識產(chǎn)權(quán)體系逐漸建立,，發(fā)展模式也從“引進消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)研發(fā)為主加國際合作”的新模式。

可喜的是,，國內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備,，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實現(xiàn)了國際領(lǐng)先,。