筆者從5月23日在北京舉行的02重大專項成果發(fā)布會上了解到，作為02專項的重點承擔單位,，北方華創(chuàng)通過近九年的科技攻關，完成了刻蝕機、磁控濺射,、氧化爐、低壓化學氣相沉積,、清洗機,、原子層沉積等集成電路設備90/55/40/28納米工藝驗證，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,。

據(jù)悉,，公司的刻蝕機等三大類集成電路設備進入14納米工藝驗證階段，首次實現(xiàn)與國外設備同步驗證,。在02專項支持下,，12英寸集成電路設備實現(xiàn)從無到有，批量銷售,，成為公司的主要收入來源之一,。并通過02專項成果擴展應用，公司成為LED,、光伏等泛半導體設備國際主流供應商,，近幾年的銷售收入平均增速達到40%。

北方華創(chuàng)是承擔02專項裝備項目最多的單位,，同時也是零部件的最大用戶,。因此，公司與上下游交流的機會很多,，不但增進了相互信任,，也帶來了商機。

中芯國際作為北方華創(chuàng)的驗證單位,，承擔了公司大部分專項的驗證工作,，雙方建立了緊密的合作關系。中芯國際在開發(fā)28納米工藝初期,，根據(jù)自身工藝的特點,，需要一種單片快速退火設備，國外還沒有完全符合要求的成熟產(chǎn)品,，基于雙方的了解,，主動提出由北方華創(chuàng)來開發(fā)此設備。雙方進行了深入的交流，在不到一年的時間里,，成功完成設備開發(fā)及工藝驗證,，相關指標達到國際先進水平，成為中芯國際28納米生產(chǎn)線基線配置產(chǎn)品,，實現(xiàn)批量銷售,。

此外，通過與本土零部件企業(yè)合作,，大幅提升了設備的性價比,，在LED、光伏等領域全面替代進口產(chǎn)品,，不僅增加了客戶效益,，更為公司帶來數(shù)十億的銷售收入，成為海內(nèi)外主流產(chǎn)品,，刻蝕機,、濺射設備、擴散設備多種產(chǎn)品市場占有率第一,，批量出口美國,、印度和臺灣地區(qū)。