新介質提高了先進半導體和 LED 應用系統(tǒng)的良率

　　BILLERICA, Massachusetts，2017年 2 月12日 – Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG)——一家為微電子行業(yè)提供特殊化學品和先進材料處理解決方案的領導者——宣布引進新的先進氣體純化平臺，以提高半導體和 LED 應用的晶圓良率。新系列 GateKeeper 氣體純化系統(tǒng) (GPS) 采用新的純化介質，可在各種流量下提供一流的氣體純度，且設備占用空間更少。隨著產能擴充到了韓國，現(xiàn)在Entegris 可同時在北美和亞洲生產 GateKeeper GPS 系統(tǒng)。

　　Entegris 微污染控制部門高級副總裁 Clint Haris 表示：“我們的客戶面臨前所未有的污染控制挑戰(zhàn)，如何高效地生產日益復雜的尖端設備成為一大難題。新的 Gatekeeper GPS系統(tǒng)系列為客戶提供先進的解決方案，可在這種環(huán)境下實現(xiàn)良率最大化。配合這些新技術引進的同時，我們將繼續(xù)投資北美和亞洲生產設施，進一步擴展全球服務和生產能力。”

　　先進節(jié)點半導體工藝和 LED 生產要求需要更高純度以清除工藝氣體所夾帶的污染物，這些污染物會導致產品瑕疵。GateKeeper GPS系統(tǒng)系列可清除氣流中的各種污染物，使其降至萬億分之一級別，并可通過配置來適應各種流量。經(jīng)純化的氣體包括 CDA、N2、H2、用于 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外，制造商正在尋找附屬廠房占地面積更小的機臺。更小的占地面積可讓客戶將寶貴的附屬廠房地面空間騰出，安裝其他所需機臺或額外系統(tǒng)來提高純化產能。

　　氣體純化產品管理部門主管 Jordan Ruple 表示：“我們和客戶緊密合作，了解和滿足客戶的純化需求，清除新污染物，增強對已知污染物的敏感度。我們率先為該尺寸的系統(tǒng)提供這一純度級別——涵蓋各種氣體和流量，對此我們相當自豪。”

　　最新 GateKeeper 系統(tǒng)將于 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON? Korea 展會上亮相。有關詳細信息，請參觀 D 展廳 5504 號 Entegris 展位、聯(lián)系當?shù)?Entegris 代表或訪問我們的網(wǎng)站。