《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 業(yè)界動態(tài) > 一文帶你了解半導體硅晶片

一文帶你了解半導體硅晶片

2017-01-02
關鍵詞: 硅片 集成電路 芯片

硅片是生產集成電路的主要原材料。硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數量就越多,從而制造成本就越低,。硅片尺寸的擴大和芯片線寬的減小是集成電路行業(yè)技術進步的兩條主線,。目前12寸硅片的出貨量占比超過60%,是目前主流的硅片尺寸,。

半導體硅片通常由高純度的多晶硅錠釆用查克洛斯法(CZ Method)為主拉成不同電阻率的硅單晶錠,,然而經過晶體定向→外圓滾磨→加工主、副參考面→切片→倒角→熱處理→研磨→化學腐蝕→拋光→清洗→檢測→包裝等工序,。

根據硅純度的不同要求,,可分為太陽能等級99,9999%,,6個“9”純度,,以及半導體等級11個“9”。本文只涉及半導體用的硅片,。

● 硅晶圓

在半導體制造業(yè)中廣泛使用各種不同尺寸與規(guī)格的硅片,,通常包括4英寸,5英寸,,6英寸,,8英寸及12英寸,它們的基本規(guī)格如下表所示,。

按IC Insight資料,,2015年底全球半導體安裝產能總計月產1635.3萬片(8英寸計),,按地區(qū)分布,臺灣地區(qū)依月產354.7萬片,,市占率達21.7%,,居全球首位,韓國依月產335.7萬片,,市占率20.5%居第二,,日本依月產282.4萬片,市占率17.3%,,居第三,,北美依月產232萬片,市占率14.2%居第四,,中國依月產159.1萬片,,市占率9.7%居第五位,歐洲依月產104.6萬片,,市占率6.4%居第六位,,其它地區(qū)市占率10.2%。

由于缺乏統(tǒng)一定義,,硅片尺寸的過渡的時間無法達成共識,,其中有一種觀點認為累積硅片的出貨量超過100萬片時,表示該硅片尺寸進入,。實際上如英特爾等總是領先其它業(yè)者,,首先進入更大尺寸的硅片。

現(xiàn)將SEMI于2006年的說法,,全球硅片尺寸的過渡時間表列于如下,;4英寸硅片于1986年;6英寸于1992年,;8英寸于1997年及12英寸于2005年,。而如果依英特爾的芯片生產線建設(見intel’s all fab list),它的3英寸生產線于1972年 FAB2 ,;4英寸生產線于1973年FAB4,;6英寸生產線于1978年 FAB5;8英寸生產線于1992年 FAB15,;以及它的第一條12英寸生產線于2002年FAB12 in Hillsboro,,與IBM同步。

業(yè)界較為公認的說法,,1980年代是4英寸硅片占主流,,1990年代是6英寸占主流,2000年代是8英寸占主流,到2002年時英特爾與IBM首先建12英寸生產線,,到2005年己占20%,,及2008年占30%,而那時8英寸己下降至54%及6英寸下降主11%,。

多晶硅的原材料,,高純度的石英,目前已知的全世界的儲量,,中國最多,,品質最好,但是我國之前卻是將石英礦沙在高溫下還原成金屬硅后低價外銷,,再高價進口多晶硅,,并且石英還原成金屬硅的階段是高度污染的。好在近些年光伏產業(yè)帶動了國內多晶硅產業(yè)的發(fā)展,,目前太陽能等級的多晶硅,,我國的產量已經是全球第一。

截止2014年,,全球300mm硅片實際出片量已占各種硅片出片量的65%左右,,平均約450萬片/月。2015年第1~第2季度每月平均需求量約500萬片,。

現(xiàn)在300mm半導體級的硅片,,國內一個月需求量約45-50萬片,,而目前國內的產量幾乎為零,,這是產業(yè)鏈上最為緊缺的一環(huán),預計未來的5年內僅300mm硅片中國的需求量要超過月產100萬片以上,。而從硅片的市場供應,,全球日本生產的最多,日本信越和SUMCO,,這兩家的產能和實際供應量總和占全球2/3以上,。300mm半導體級的大硅片,不僅是產業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),,也是國家安全戰(zhàn)略發(fā)展的需要,。

國家在2012--2013年時科技部的02專項中,已有大硅片方面項目的經費準備,,但遲遲不能立項,,原因就是雖然有國內研發(fā)機構曾經做過12寸大硅片,研發(fā)成功,,但由于良率不高還不能量產,。2014年,科技部02專項的領導下定決心要攻克12英寸硅片難關。要求是不僅研發(fā)成功,,更要量產成功,。量產的概念不是幾千片,是每個月10萬片以上交付客戶,,連續(xù)6個月交付客戶10萬片以上,,才算完成項目。

全球硅晶圓片于2015年的供應商排名,,日本信越半導體第一位,,占比27%,日本勝高科技(SUMCO)占比26%居第二,,環(huán)球晶圓占比7%,,Siltronic占比13%,LG占比9%,,SunEdison占比10%,,及其它8%。

由國家立項的12英寸硅片項目己經啟動,,叫上海新昇半導體科技有限公司,,成立于2014年6月,坐落于臨港重裝備區(qū)內,,占地150畝,,總投資68億元,一期總投資23億元,。新昇半導體第一期目標致力于在我國研究,、開發(fā)適用于40-28nm節(jié)點的300mm硅單晶生長、硅片加工,、外延片制備,、硅片分析檢測等硅片產業(yè)化成套量產工藝;建設300毫米半導體硅片的生產基地,,實現(xiàn)300毫米半導體硅片的國產化,,充分滿足我國極大規(guī)模集成電路產業(yè)對硅襯底基礎材料的迫切要求。新昇半導體一期投入后,,預計月產能為15萬片12英寸和5萬片8英寸硅片,,最終將形成300mm硅片60萬片/月的產能,年產值達到60億元,。新昇將與世界一流技術接軌,,達到世界先進水平。

全球硅片出貨量與銷售額,;2007時為8,,661MSI,,銷售額達121億美元,到2010年時為9,,04MSI,,銷售額為97億美元,以及2015年的10,,43MSI,,銷售額為72億美元,反映全球的硅片出貨量增長緩慢,,而它的銷售額逐年在下降,。

● 450毫米硅片

為了加速發(fā)展450mm(18英寸)晶圓,全球五大半導體業(yè)者IBM,、英特爾,、三星電子、臺積電和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm聯(lián)盟,,簡稱G450,,并于美國紐約州Albany設立450mm晶圓技術研發(fā)中心。

450mm聯(lián)盟成立后,,18寸晶圓世代的技術和機臺設備有不少方針已開始確立,,是半導體產業(yè)邁入18寸晶圓世代的重要里程碑,目的是推動 450 mm 硅片技術的發(fā)展,。

實際上在2012年期間,,除了G450C 聯(lián)盟之外、全球尚有EEMI450 聯(lián)盟 ( 歐洲 ) 和 Metro450 聯(lián)盟( 以色列) ,,共計三個聯(lián)盟來推動450毫米硅片的進展,,目標是可互用研究結果,減少重復性的實驗,。

除此之外,,半導體制造技術戰(zhàn)略聯(lián)盟 (SEMATECH) 和國際半導體設備與材料協(xié) 會 (SEMI) 等也在推動全球產業(yè)鏈的合作研發(fā),,因為硅片直徑的增大將牽動整個產業(yè)鏈很大的改變,。

然而,450毫米硅片的進程自開始就有不同的看法,,其中最為關鍵是半導體設備供應商,,包括如應用材料公司等缺乏積極性,理由是450毫米設備不是簡單地把腔體的直徑放大,,而是要從根本上對于設備進行重新設計,,因此面臨著經費與人力等問題,更多的擔心是未來的市場,,能否有足夠的投資回報率,。所以關于450毫米硅片的聲浪是時起彼伏,盡管英特爾,三星及臺積電等大廠信心滿滿,,實際上是雷聲大雨點小,。

自2014 年開始G450C 聯(lián)盟出現(xiàn)暫緩研發(fā) 450 mm 硅片的跡象;,。盡管如TSMC等曾 宣布 將于2018 -2019年期間會采用450毫米硅片,。然而依目前半導體業(yè)的態(tài)勢觀察,現(xiàn)在還很難取得實質性的進展,。

采用450毫米硅片,,如同前幾次硅片增大直徑一樣,關鍵在于從經濟上要有它的利益點,,包括芯片制造商及設備供應商在內,,另一個是產業(yè)發(fā)展需要擴大產能的迫切性,所以等待未來市場的再次高潮到來,。

不管如何,,450毫米硅片對于全球半導體業(yè)仍是一個懸而未決的課題。



本站內容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,,轉載內容只為傳遞更多信息,,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章,、圖片,、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內容無法一一聯(lián)系確認版權者,。如涉及作品內容,、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,,以便迅速采取適當措施,,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯(lián)系電話:010-82306118,;郵箱:aet@chinaaet.com,。