靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象,,產(chǎn)生的方式很多,如接觸,、磨擦,、沖流等等。其產(chǎn)生的基本過程可歸納為:接觸 → 電荷 → 轉(zhuǎn)移 → 偶電層形成 → 電荷分離,。
設(shè)備或人體上的靜電最高可達(dá)數(shù)萬伏以至數(shù)十萬伏,,在正常操作條件下也常達(dá)數(shù)百至數(shù)千伏。人體由于自身的動(dòng)作及與其它物體的接觸-分離,、磨擦或感應(yīng)等因素,,可以帶上幾千伏甚至上萬伏的靜電,。靜電是正、負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果,。它是一種電能,,留存在物體表現(xiàn),具有高電位,、低電量,、小電流和作用時(shí)間短的特點(diǎn)。
靜電控制的主要措施有:靜電的泄漏和耗散,、靜電中和,、靜電屏蔽與接地,、增濕等,。
靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業(yè)最普遍、最嚴(yán)重的靜電危害,,它分硬擊穿和軟擊穿,。硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或永久性失效,;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降,。
靜電敏感元器件和印制電路板在生產(chǎn)過程中工序之間的傳遞和儲(chǔ)放,必須使用防靜電上料箱,、元件盒,、周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)托盤等,。以防止靜電積累造成危害,。
靜電敏感元器件和印制電路板,作為成品進(jìn)行包裝時(shí)必須采用防靜電屏蔽袋,、包裝袋,、包裝盒、條,、筐等,,避免運(yùn)輸過程中的靜電損害。
電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中,,其元器件,、組件成品經(jīng)常與設(shè)備工具等發(fā)生接觸、分離,,磨擦而產(chǎn)生靜電,,必須使用防靜電坐墊、周轉(zhuǎn)小車,、維修包,、工具,、工作椅(凳)等,并通過適當(dāng)?shù)慕拥?,使靜電迅速泄放,。
磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,,但產(chǎn)生靜電并非危害所在,,危害在于靜電積累及由此產(chǎn)生的靜電電荷放電,因此必須予以控制,。
帶靜電的物體,,在其周圍形成靜電場(chǎng),會(huì)產(chǎn)生力學(xué)效應(yīng),,放電效應(yīng)和靜電感應(yīng)效應(yīng),。
由于靜電的力學(xué)效應(yīng),空氣中的浮游的塵粒會(huì)吸附到硅片等電子元器件上,,嚴(yán)重影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量,,因此,對(duì)凈化工作空間必須采取防靜電措施,。
凈化室的墻壁,、天花板和地板等都應(yīng)采用防靜電的不發(fā)塵材料,對(duì)操作人員及工件,、器具也應(yīng)采取一系列的靜電防護(hù)措施,。
為了解生產(chǎn)過程靜電起電情況,判別生產(chǎn)過程中靜電的影響程度以及檢驗(yàn)靜電防護(hù)用品,、裝備質(zhì)量都需要測(cè)量靜電及有關(guān)參數(shù),。
靜電的測(cè)量,主要是對(duì)靜電電壓,、材料電阻,、接地電阻、靜電關(guān)衰期,、靜電電量,、靜電消除器消電性能、布料電荷面密度等的測(cè)量,。
靜電防護(hù)工作是一項(xiàng)系統(tǒng)工程,,任何環(huán)節(jié)的疏漏或失誤,都將導(dǎo)致靜電防護(hù)工作的失敗,,必須時(shí)時(shí)防范,,人人防范。