《電子技術(shù)應(yīng)用》
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立足自主可控 做強(qiáng)集成電路制造業(yè)

2016-07-20

  在我們按照《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,全力推進(jìn)華虹集團(tuán)集成電路制造業(yè)新發(fā)展的進(jìn)程中,,習(xí)近平總書(shū)記在網(wǎng)絡(luò)安全和信息化工作座談會(huì)上的講話,,為我們當(dāng)前和今后一段時(shí)期立足自主可控做強(qiáng)集成電路制造業(yè)進(jìn)一步指明了方向,,提供了強(qiáng)大的方法論。

  著力解決“缺芯少魂”

  習(xí)總書(shū)記在講話中明確指出了我們當(dāng)前信息化發(fā)展中最大的差距在于核心技術(shù),,要求著力解決“缺芯少魂”的問(wèn)題,。集成電路是信息化時(shí)代人類大腦的延伸,因而也是信息產(chǎn)業(yè)的核心,。在我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)從制造大國(guó)穩(wěn)步邁向制造強(qiáng)國(guó)的進(jìn)程中,,集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展程度對(duì)其具有決定性的影響。

  20年來(lái),,華虹集團(tuán)在中央和上海的關(guān)心支持下,,從引進(jìn)技術(shù)建設(shè)運(yùn)營(yíng)國(guó)內(nèi)第一條8英寸極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線起步,在技術(shù)上按照引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新,,在規(guī)模上按照扎實(shí)穩(wěn)健的產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點(diǎn),,逐步建立了8英寸和12英寸兩個(gè)制造平臺(tái),以及一個(gè)國(guó)家級(jí)的集成電路研發(fā)中心,。

  由上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司承擔(dān)的8英寸制造平臺(tái)目前有3條生產(chǎn)線,,總產(chǎn)能達(dá)到每月15萬(wàn)片,量產(chǎn)工藝達(dá)到了8英寸的極限90納米,,每月在產(chǎn)芯片超過(guò)500種,,并承擔(dān)了包括身份證芯片在內(nèi)的一系列事關(guān)國(guó)計(jì)民生的重點(diǎn)芯片生產(chǎn)任務(wù),。基于豐富而成熟的工藝平臺(tái)和精細(xì)化的運(yùn)營(yíng)管理,,企業(yè)從“十二五”以來(lái)實(shí)現(xiàn)每年盈利,。

  由上海華力微電子有限公司承擔(dān)的12英寸制造平臺(tái),作為國(guó)家“909”工程升級(jí)改造項(xiàng)目,,生產(chǎn)線于2010年開(kāi)始建設(shè),,2015年竣工驗(yàn)收,總產(chǎn)能達(dá)每月3.5萬(wàn)片,。該生產(chǎn)線直接從55納米量產(chǎn)工藝起步,,28納米工藝將于近期實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。

  華虹集團(tuán)下屬的上海集成電路研發(fā)中心于2007年被國(guó)家發(fā)改委授予國(guó)家級(jí)研發(fā)中心,,目前已進(jìn)入成套工藝技術(shù)輸出期,。這一企業(yè)化運(yùn)作的中心建成了按量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)配置的3200平方米凈化廠房和覆蓋12英寸主要工藝模塊的中試線,在先導(dǎo)性工藝研發(fā),、國(guó)產(chǎn)裝備和材料中試驗(yàn)證,、校企合作的協(xié)同創(chuàng)新中心建設(shè),以及上海市集成電路高技能人才實(shí)訓(xùn)基地等方面開(kāi)展了卓有成效的工作,。

  支持國(guó)產(chǎn)設(shè)備和原材料

  自主可控是華虹集團(tuán)始終不懈追求的目標(biāo),。到今年年底,華虹累計(jì)申請(qǐng)的集成電路制造專利有望突破1萬(wàn)項(xiàng),。

  同時(shí),,我們把支持國(guó)產(chǎn)設(shè)備和原材料作為生產(chǎn)線的重要使命。華虹集團(tuán)較早建立了針對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備和原材料的評(píng)估驗(yàn)證采購(gòu)機(jī)制,。8英寸和12英寸兩個(gè)制造平臺(tái)均為使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備和原材料最多的企業(yè),。其中,在12英寸產(chǎn)線中國(guó)產(chǎn)設(shè)備達(dá)到7種13臺(tái),,國(guó)產(chǎn)材料超過(guò)了10種,。

  “十三五”期間,華虹集團(tuán)將按照《國(guó)家集成電路發(fā)展推進(jìn)綱要》,,繼續(xù)堅(jiān)持自主可控,做大集成電路制造規(guī)模,,持續(xù)提升工藝技術(shù)水平,。到2020年,華虹集團(tuán)的集成電路制造能力將覆蓋0.5微米到14納米各工藝技術(shù)平臺(tái),。在我國(guó)自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)中發(fā)揮好主力軍作用,。主要戰(zhàn)略方向是:8英寸制造平臺(tái)將立足“More than Moore”(超越摩爾定律),在擴(kuò)大規(guī)模的同時(shí)進(jìn)一步強(qiáng)化一系列特色工藝;12英寸制造平臺(tái)將繼續(xù)追趕摩爾定律,,在充分發(fā)揮既有產(chǎn)線產(chǎn)能的同時(shí),,新建一條月產(chǎn)4萬(wàn)片,、工藝能力為28~14納米的12英寸生產(chǎn)線,并力爭(zhēng)在“十三五”期末實(shí)現(xiàn)FinFET工藝的量產(chǎn);集成電路研發(fā)中心將全面建成覆蓋主要工藝模塊的12英寸先進(jìn)工藝引導(dǎo)線,,成為具有國(guó)際影響力的集成電路研發(fā)機(jī)構(gòu),。

  總書(shū)記指出“核心技術(shù)要取得突破,就要有決心,、恒心,、重心”。對(duì)于華虹集團(tuán)這一以集成電路制造為主業(yè)的國(guó)有產(chǎn)業(yè)集團(tuán)來(lái)說(shuō),,國(guó)家在集成電路產(chǎn)業(yè)上的“痛點(diǎn)”就是我們主攻的方向,。建設(shè)我國(guó)自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系是我們責(zé)無(wú)旁貸的歷史責(zé)任。華虹集團(tuán)將秉承“知難而進(jìn),,奮發(fā)圖強(qiáng)”的企業(yè)精神,,下定攻堅(jiān)克難的決心、保持戒驕戒躁的恒心,、聚焦工藝技術(shù)能級(jí)提升的重心,,更加努力地承擔(dān)起國(guó)家隊(duì)的應(yīng)有職責(zé)。


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