MEMS微機電系統(tǒng),實現(xiàn)的是機械能與電能的轉換,且是雙向轉換,。MEMS傳感器將機械能轉化為電能,即感測;MEMS執(zhí)行器將電能轉化為機械能,即執(zhí)行。對于MEMS傳感器傳感器,我們一點也不陌生,但相比起來,MEMS執(zhí)行器則一直不溫不火,雖有應用但未受到太多關注,。近日,意法半導體執(zhí)行副總裁兼模擬,、MEMS和傳感器產品事業(yè)部總經(jīng)理Benedetto Vigna在媒體會上表示,未來MEMS執(zhí)行器將迎來比MEMS傳感器更快的增長。

    去年,Benedetto就強調過MEMS的兩面性——即MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器,。意法半導體是唯一一家能夠提供全部MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器的公司,。其產品可分為壓電式執(zhí)行器、微反射鏡,、射流微執(zhí)行器,、環(huán)境傳感器、MEMS麥克風及運動傳感器,。

    早在2000年,意法半導體就發(fā)布了射流微執(zhí)行器產品,應用于打印機噴頭中,HP即是其主要客戶之一,。然而之后的十余年,因為生產工藝、技術,、應用需求等多種原因,MEMS執(zhí)行器并未取得太多進展,。在意法半導體的產品發(fā)布圖上就可以看到這樣一片空白,從2005年至2015年見,意法半導體發(fā)布了多款加速度計、陀螺儀,、壓力傳感器,、麥克風,、紫外傳感器、濕度傳感器等MEMS傳感器產品,但無一MEMS執(zhí)行器新品出現(xiàn),。直至2015年,才陸續(xù)發(fā)布了壓電執(zhí)行器和微反射鏡新品,。

    目前,意法半導體MEMS產品銷量已超100億件,成為MEMS和傳感器產業(yè)發(fā)展的領航者。其產品由傳統(tǒng)市場與傳統(tǒng)產品不斷向從新興市場和新型應用拓展,。十年前,意法半導體將MEMS傳感器應用于消費電子產品,推動了整個MEMS市場的蓬勃發(fā)展,。今天,意法半導體看到,隨著工藝的發(fā)展和新興應用的出現(xiàn),,意識到MEMS執(zhí)行器的市場需求急速上升,這將是又一次的發(fā)展機遇。

    與MEMS傳感器不通,除了MEMS本身的結構工藝和低功耗數(shù)字電路之外,MEMS執(zhí)行器還需要在低功耗前提下有個對電源管理的特殊制程,這是因為做微型推進器時還需要高電壓,、大電流模擬開發(fā)技術,。意法半導體公司25年之前就研發(fā)出領先業(yè)界的BCD技術,這項技術與MEMS技術相結合,成就了意法半導體MEMS執(zhí)行器獨一無二的優(yōu)勢。

    意法半導體將MEMS微執(zhí)行器歸為四類:壓電式微執(zhí)行器,、靜電式微執(zhí)行器,、熱學微執(zhí)行器以及電磁微執(zhí)行器。其中壓電式微執(zhí)行器可應用于相機自動對焦,、噴墨打印頭;靜電式微執(zhí)行器應用于微型反射鏡,、免觸控用戶界面、超級本投影;熱學微執(zhí)行器應用于噴墨打印頭和MEMS微射流執(zhí)行器;電磁微執(zhí)行器應用于衛(wèi)星反射鏡,、免觸控用戶界面,、超極本投影。

    Benedetto表示,雖然MEMS執(zhí)行器市場才剛剛起步,距離真正的市場爆發(fā)還有一點時間,。但是意法半導體會在這方面持續(xù)投入人力物力去研發(fā),、開拓出更好的技術和產品。