隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,，慣性傳感器件在過去的幾年中成為最成功,應(yīng)用最廣泛的微機電系統(tǒng)器件之一,，而微加速度計（microaccelerometer）是慣性傳感器件的杰出代表,。微加速度計的理論基礎(chǔ)是牛頓第二定律，根據(jù)基本的物理原理,，在一個系統(tǒng)內(nèi)部,，速度是無法測量的，但卻可以測量其加速度,。如果初速度已知,，就可以通過積分計算出線速度，進而可以計算出直線位移,。結(jié)合陀螺儀（用來測角速度）,，構(gòu)成微型慣性測量單元（MIMU），就可以對物體進行精確定位,。根據(jù)這一原理,，人們很早就利用加速度計和陀螺進行輪船，飛機和航天器的導(dǎo)航,，近年來,，人們又把這項技術(shù)用于汽車的自動駕駛和導(dǎo)彈的制導(dǎo)。汽車工業(yè)的迅速發(fā)展又給加速度計找到了新的應(yīng)用領(lǐng)域,，汽車的防撞氣囊（Air Bag）就是利用加速度計來控制的,。

    硅微加速度計的類型較多，按檢測質(zhì)量的運動方式來分,，有角振動式和線振動式加速度計,；按檢測質(zhì)量支承方式來分，有扭擺式,、懸臂梁式和彈簧支承方式,；按信號檢測方式來分，有電容式,、電阻式和隧道電流式,；按控制方式來分，有開環(huán)和閉環(huán)式之分,。

    開環(huán)加速度計的測量系統(tǒng)是開環(huán)的（或稱為開口的）,。加速度值經(jīng)過敏感元件、信號器,、放大器變成電信號直接輸出,。對應(yīng)于每一個被測量的加速度值，開環(huán)加速度計便有一個輸出值與之對應(yīng),。為了滿足實際應(yīng)用的需要,，開環(huán)加速度計必須精確地予以校準(zhǔn)，并且在工作過程中，保持這種校準(zhǔn)值不發(fā)生變化,，開環(huán)加速度計的抗干擾能力較差,，在出現(xiàn)擾動（外界干擾）時就會對測量精度有較大的影響，一般來說,，精度也較低,，開環(huán)加速度計的優(yōu)點是構(gòu)造簡單、容易維護,，成本較低,。

    閉環(huán)加速度計又稱力平衡加速度計、力反饋加速度計,、帶有補償系統(tǒng)的加速度計,，或伺服加速度計,。這類加速度計的測量系統(tǒng)是閉口的,，被測加速度經(jīng)敏感元件、信號器,、放大器等變成電信號,，加給對檢測質(zhì)量有控制作用的力（或力矩）發(fā)生器。也就是說,，采用了反饋,，把輸出量與輸入量進行比較，構(gòu)成了一個閉環(huán)控制系統(tǒng),。閉環(huán)加速度計的抗干擾能力較強,，測量精度較高，又由于有反饋作用,，使檢測質(zhì)量始終工作在零位附近,，從而可以擴大量程。在慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中,，廣泛采用閉環(huán)加速度計,。

    而如今，微加速度傳感器廣泛應(yīng)用叉指結(jié)構(gòu),，叉指結(jié)構(gòu)式微加速度傳感器具有靈敏度高,、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)相對簡單,、功耗比較小,、直流特性好等特點，但是容易受到電磁干擾,。該類型的加速度計可以通過叉指結(jié)構(gòu)增加檢測電容,，而且可以制作反饋結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)閉環(huán)控制，利于精度的提高,。此外,，此類型微加速度計的制作方法基本上與大規(guī)模集成電路的工藝技術(shù)相互兼容。綜上述的特點,，叉指式微加速度計具有很高的研究價值,。

    作為最成熟的慣性傳感器應(yīng)用，現(xiàn)在的MEMS加速度計有非常高的集成度,，即傳感系統(tǒng)與接口線路集成在一個芯片上,。