盡管針對MEMS設(shè)計的專用工具套件已經(jīng)面市,，但它們的定價往往超出專注這一增長領(lǐng)域的許多小公司的承受范圍,。作為一種替代解決方案，低成本的,、基于PC的IC工具開始被用于設(shè)計微機(jī)電系統(tǒng)及IC,。

 

　　不過，這類軟件的使用者必須認(rèn)識到MEMS設(shè)計的特殊復(fù)雜性,，并評估這些軟件是否能支持他們的產(chǎn)品制造和生產(chǎn)周期,。對于只需要2層掩膜的簡單微流通道 (microfluidic channels)，這些軟件也許正好合適,。但對于復(fù)雜的多個掩膜層,，在錯誤檢測、參數(shù)對象構(gòu)建和其它步驟上浪費(fèi)的時間和金錢可能會使最初節(jié)省的成本變得毫無意義,。

 

　　當(dāng)MEMS設(shè)計包含大量的曲線對象(curved object)時,，使用IC CAD工具會引發(fā)一些有趣的問題。

 

　　曲線對象必須分個構(gòu)建,，并被放置在比IC制造工藝更精細(xì)的柵格上,，以確保機(jī)械的“平滑性”。此外,，IC版圖工具現(xiàn)在必須能處理具有數(shù)千個點(diǎn)的多邊形(它們是因分立的曲線對象而產(chǎn)生的),。

像電磁激勵器這樣的器件需要能繪制精確曲線的版圖工具

 

　　管理這類數(shù)據(jù)可能會降低繪圖操作的速度。處理曲線和多邊形需要合適的繪圖指令以及精確的幾何定位工具,，以準(zhǔn)確捕捉中點(diǎn),、半徑和角。在IC領(lǐng)域,，精確定位一個中心點(diǎn)或到某一邏輯門的特定距離可能不像在MEMS設(shè)計中那么重要,。例如，出于機(jī)械或慣性的目的,，MEMS設(shè)計者可能需要把一個電阻精確地放置在某個曲梁單元(curved beam element)的中心,。

 

　　此外，IC工具可能無法按參數(shù)化方法構(gòu)造復(fù)雜的曲線或?qū)ο?，從而迫使設(shè)計師輸入詳細(xì)的x,、y坐標(biāo)以繪制出相同器件的近似版本。

 

　　低成本的IC工具通常不提供算法到版圖生成(Algorithm-to-layout generation)功能,，所以設(shè)計師可能要使用Matlab或Excel這類的程序來創(chuàng)建x,、y坐標(biāo)點(diǎn)，然后再進(jìn)入CAD工具。因此,，這些對象是“靜態(tài)”的,，并且不能被無縫編輯。

 

　　不同于成熟的IC制造領(lǐng)域,，MEMS設(shè)計師從非常早的階段起就必須考慮工藝以及器件的機(jī)械物理學(xué)問題,。例如，在MEMS電磁激勵器中,，三維(3-D)線圈通常很難制造,。事實上，MEMS制造工藝的二維(2-D)特性經(jīng)常限制了機(jī)電設(shè)計的最佳優(yōu)化,。因此,，設(shè)計師不得不利用新穎的分層技術(shù)和固定的工藝折衷來實現(xiàn)恰當(dāng)?shù)拇艌觥?/div>